突发！三星8.6代OLED生产线量产遇阻：玻璃基板出现破裂问题
（来源：今日半导体）
据透露，三星显示器第8.6代有机发光二极管（OLED）生产线（A6）去年遭遇了严重的生产困难，主要原因是静电吸盘（ESC）相关的工艺稳定性问题。有报道称，由于静电吸盘运行不畅，导致玻璃基板破裂。尽管今年随着生产条件的改善，良率有所提升，但据报道，京东方等显示器厂商仍在努力确保第8.6代工艺的良率稳定。
据业内人士透露，三星显示器在去年年底之前建设第8.6代OLED生产线时，由于静电吸盘的缘故，大面积基板的贴装和脱装工艺遇到了困难。静电吸盘是一种利用静电力将玻璃基板吸附到底板上的装置；它是实现精确沉积的关键部件，能够保持大面积基板的平整度。此外，它还能通过控制氦气和温度来保证温度均匀性和贴装/脱装的稳定性。
尤其是在第8.6代OLED工艺中，静电吸盘正成为决定量产稳定性的关键因素。这是因为基板尺寸增大，从现有的第6代OLED工艺（1500mm × 1850mm）增加到第8.6代OLED工艺（2290mm × 2620mm），需要控制重力引起的下垂。此外，由于OLED工艺需要在真空环境下沉积有机材料，因此需要同时保证基板的平整度、温度均匀性和静电控制；由此可见，静电吸盘的重要性日益凸显。
业内人士指出，在沉积前后，基板与静电吸盘的贴合和分离过程中都存在问题。据报道，有些情况下，即使移除电压，贴合在吸盘上的基板也无法顺利分离；或者相反，不稳定的初始粘附会导致基板在过程中发生晃动和断裂。稳定的基板附着需要精确控制静电力、氦气压力和温度条件；然而，如果为了增强附着力而提高电压，残留静电可能会对薄膜晶体管 (TFT) 产生不利影响。也有人认为问题出在日本佳能特机 (Canon Tokki) 使用的沉积设备上。据报道，京东方 (BOE) 也正在努力解决这个问题。
有人担心，如果这个问题得不到解决，可能会影响整个量产计划。据业内人士透露，三星显示器计划于今年第二季度开始量产，并在下半年为苹果 MacBook Pro 供应约 200 万块 OLED 面板。分析人士指出，如果制造工艺的稳定进程被延误，可能会导致面板供应无法满足客户的交货期。业内人士认为，即使在初始量产后同步进行良率提升，也很难完全排除交货期延误的可能性。
一位业内人士表示：“据我了解，三星显示去年底在解决静电吸盘问题期间，曾出现过玻璃基板破裂的情况。”另一位业内人士也表示：“据我了解，他们去年也遇到过与静电吸盘相关的问题。”他补充道：“三星显示采用的是‘半切’沉积工艺，即将基板切割成两半，但基板尺寸仍然超过一米。用静电吸盘固定如此大尺寸的基板本身就是一项非常复杂的技术。”
然而，据报道，三星显示目前正在通过综合调整氦气压力、静电条件和温度均匀性来稳定其工艺。据说良率已达到70%左右。尽管工艺有所改进，但分析师建议，在确保稳定的量产良率之前，切不可放松警惕。
另一位业内人士表示：“据我了解，他们目前正在通过调整压力和氦气用量来提高工艺稳定性。”他补充道：“由于他们并不一定需要达到80%的良率才能开始量产，因此他们似乎在持续投资8.6代生产线，并相信即使在进入量产阶段后，他们也能逐步提高良率并解决问题。”
此外，IT OLED市场本身的增长率也是一个影响因素。分析师指出，由于市场扩张速度不及预期，三星显示器别无选择，只能采取较为保守的量产策略。
据业内人士透露，尽管近期高清显示器需求的增长提高了人们对IT OLED市场的预期，但实际扩张速度依然缓慢。因此，京东方和维信诺等中国企业正在投资8.6代OLED技术。然而，人们担心，如果市场扩张未能支撑这一趋势，可能会导致供应压力。
尤其值得注意的是，市场渗透率仍然很低，这被认为是一个制约因素。根据UBI Research的数据，平板电脑、笔记本电脑和显示器的OLED采用率分别为5.9%、4.4%和2.0%，表明OLED主要应用于高端产品。UBI Research分析指出，“与LCD相比，价格竞争力的压力依然很大。”
一位业内人士表示：“据我了解，他们正在考虑调整量产速度，因为IT OLED市场的规模仍然比预期要小。”他补充道：“尽管IT市场向OLED转型的需求显而易见，但目前OLED的应用仅限于高端产品，因此他们必须考虑市场状况。”三星显示器一位负责人表示：“某些方面声称由于工艺问题导致量产计划受阻的说法毫无根据。”他补充道：“目前，用于IT应用的OLED生产线建设进展顺利，我们将按原计划开始量产。”
来源：Wit Display
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